AVP 6T GMR PVD

-广泛适用于MEMS器件、GMR、TMR器件、多层膜、磁性薄膜沉积
-成熟、可靠、低成本、高产能、7/24连续运行的薄膜沉积系统
-欧美工业生产验证的、成熟的8英寸RF、DC、Pulsed DC等薄膜沉积工艺
-6靶材工艺腔体，尤其适合GMR、TMR等多层膜沉积