AVP 4T PVD SYSTEM

-各种薄膜、精密光学薄膜沉积的解决方案
-各种成熟的、2-8英寸的RF、DC、Pulsed DC、反应等薄膜沉积工艺
-成熟、可靠、低成本、高产能、7/24连续运行的薄膜沉积系统
-广泛应用于欧美光学器件、MEMS、存储等工业界的薄膜沉积