AVP IBE System

-欧美工业生产证明的、可靠、低成本、高产能的薄膜刻蚀系统
-广泛应用的微、纳器件加工、刻蚀设备
-杰出的薄膜刻蚀均匀性和重复性
-纯物理刻蚀，采用惰性气体为工艺气体，环保、无污染，应用广泛
-低维护、低成本、低CoO