产品技术
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Ion Beam Source GRID
-栅网（GRID）为离子源的关键部件
-由多层难熔金属，如Mo等，构成
-栅网中间由蜂窝状图形构成
-施加不同电势在各个栅网，以引导且加速平行、高能的离子束
产品参数

-超精密加工金属Mo多层栅网；

-全自动测量，并多工艺控制金属Mo栅网的形变；

-专有工具安装，确保各层栅网位置精准对齐；

-出厂前（FAT）工艺测试，满足各功率条件下刻蚀均匀性要求。


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