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LDS
-全自动液体供给系统
-可以自动从系统内部的储液罐向蒸发等真空镀膜系统提供连续、稳定液体流量
...
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Ion Beam Source GRID
-栅网(GRID)为离子源的关键部件
-由多层难熔金属,如Mo等,构成
-栅网中间由蜂窝状图形构成
-施加不同电势在各个栅网,...
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定制设备
艾微普公司具有机械设计、工业自动化、软件、工艺研发、系统集成、设备制造、设备维护、零部件供应等全方面技术和实践经验,可以为客户定制各种真空、等离子体设备,如...
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