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薄膜沉积
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LDS
-全自动液体供给系统
-可以自动从系统内部的储液罐向蒸发等真空镀膜系统提供连续、稳定液体流量
产品参数
-支持多源/单源蒸发;
-
独有加热设计,简化系统维护;
-
可以针对不同性能液体,定制设计;
-
可以单独使用,也可以与机器软件通讯,以实现控制。
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