| 工艺腔体(PM) | 6英寸晶圆，6个12英寸靶材；或8英寸晶圆，6个13英寸靶材 |
| 运输腔体(TM) | Brooks MarathronTM Express，带晶圆位置校准仪 |
| 样品上、下载腔体(LL) | Brooks VCE, 12片或定制晶圆盒(Cassette) |
| 磁控管 | 直流/脉冲直流/射频/射频磁控；置于腔体上盖自动靶材挡板 |
| 典型靶材电源 | 直流/脉冲直流磁控：最大5kW；射频/射频磁控：最大10kW |
| 晶圆基座 | |
| 偏压 | ~1kW射频电源，用于晶圆置偏压或预清洁 |
| 偏置磁场 | 双向偏磁场（垂直、平行） |
| 气体 | Ar, O2, N2 |
| 基底真空 | < 2 x 10-8 Torr |
| 高真空泵 | 可选，冷泵/分子泵 + 水泵 + 机械泵 |
| 自动控制 | DeviceNet/PLC |
| 软件 | 基于最新WINDOWS的工业控制软件 |
| 薄膜均匀性 | σ < 1.0% |
